熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是以熱擴(kuò)散技能為基礎(chǔ)的氣體質(zhì)量流量計(jì)。傳感元件包含兩個(gè)帶熱套管維護(hù)的電阻式溫度探測器(鉑RTD)，這兩個(gè)RTD被置于流體中，其間一個(gè)RTD被加熱，另一個(gè)則用于感應(yīng)進(jìn)程溫度。氣體的活動(dòng)將被加熱的RTD上的熱量帶走，造成兩個(gè)RTD之間的溫差與氣體流速成份額變化。

差信號變換成電壓或電流信號輸出。擴(kuò)散式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)選用了帶內(nèi)置渦流調(diào)節(jié)器的軸向式傳感頭。它在不抱負(fù)的裝置環(huán)境中能夠供給zui高丈量精度，對定位沒有特別高的請求。因此能夠供給超卓的精度、重復(fù)性和反應(yīng)時(shí)間。它的傳感元件上觸摸介質(zhì)外表選用全金屬構(gòu)造并選用了抗腐蝕的全焊接構(gòu)造，裝置運(yùn)用簡潔，修理、維護(hù)耗費(fèi)低。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)內(nèi)部的電路板主要包含傳感器電路板和數(shù)據(jù)處理電路板。線路板之間經(jīng)過內(nèi)部電路母線IB-BUS聯(lián)絡(luò)。傳感器電路板直接與傳感器聯(lián)接，它為傳感器供給作業(yè)電流，一起將傳感器回來的V/I信號經(jīng)過A/D變換變?yōu)閿?shù)字信號，經(jīng)過數(shù)據(jù)處理后經(jīng)內(nèi)部母線IB送入處理器電路板。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)處理器電路板擔(dān)任接納由傳感器電路板傳來的數(shù)字信號，經(jīng)處理后轉(zhuǎn)變?yōu)橐?guī)范V/I輸出，一起經(jīng)過顯現(xiàn)單元完結(jié)各種參數(shù)的顯現(xiàn)以及設(shè)定。處理器自身選用EEPROM方法，PAL與模擬量輸出、通訊端口間選用光電耦合阻隔，以進(jìn)步抗干擾才能。通訊規(guī)范為RS232/RS485，一起供給Hart/Profibus等現(xiàn)場通訊協(xié)議。